成果名称：	超高分辨率光栅尺	关键字：		应用行业：
高新技术领域：		所在地：		知识产权类型：	发明专利
知识产权编号：	ZL201310122926	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：		成果水平：	国内领先	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：		课题来源：
第一完成单位名称：	河北科技大学	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：		交易价格(万)：	1.00	所属十强产业：

一种超高分辨率光栅尺，它包括平面光源以及垂直于平面光源的照射方向并沿平面光源的照射方向依次排列且彼此平行的定光栅、动光栅和线阵CCD传感器，所述线阵CCD传感器与动光栅并排固定在一起，所述线阵CCD传感器的感光单元的长度与动光栅的长度相对应；在定光栅的栅格数为N-1的长度上动光栅的栅格数恰好是N个栅格，即动光栅的栅距等于定光栅的栅距*[(n-1）/n],其中，n是在动光栅长度内所能刻画出的光栅数。本发明的定光栅和动光栅利用游标卡尺的测量原理测量位移，同时利用线阵CCD传感器采集测量信号，大大提高了光栅尺的分辨率，特别适用于对测量精度要求较高的场合。