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微针肋簇阵列微通道微型换热器

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成果名称: 微针肋簇阵列微通道微型换热器 关键字: 应用行业:
高新技术领域: 所在地: 知识产权类型: 实用新型
知识产权编号: ZL201821350485 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 课题来源:
第一完成单位名称: 华北电力大学(保定) 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 专利许可 交易价格(万): 6.00 所属十强产业:
微针肋簇阵列微通道微型换热器,属于于微电子技术强化换热领域。本装置结构包括依次堆叠封装在一起的封装片1),基板(2);封装片(1)上开有与外部管路连接的流体入口(3)和流体出口(4);基板正面加工微针肋簇阵列微通道(5)、入口储液池和出口储液池。微针肋簇阵列内微针肋簇单元顺列布置,X方向间距L和Y方向间距Lb,以及微针肋簇单元结构尺寸X方向La和Y方向H,均可根据实际需求通过优化设计经MEMS加工技术实现。本实用新型相比较一般微通道微型换热器,可满足更大功率电子芯片的散热,具有沸腾起始点壁面温度更低,流动沸腾压力降更低,芯片上温度分布均匀性更高等优点,使高热流电子器件实现更高效热管理。
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