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纳晶镍的热电性能调控方法

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成果名称: 纳晶镍的热电性能调控方法 关键字: 应用行业:
高新技术领域: 所在地: 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: ZL201710777165 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 成果水平: 国内领先 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 课题来源:
第一完成单位名称: 华北电力大学(保定) 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 专利许可 交易价格(万): 3.00 所属十强产业:
本发明涉及一种纳晶镍的热电性能调控方法,包括:A. 在铜箔上沉积一层厚度为5~15 nm的氧化锆薄膜,敲击氧化锆薄膜层,使氧化锆薄膜呈玻璃态;B. 在氧化锆薄膜上沉积厚度为5~55 nm的纳晶镍层;C. 蚀刻铜箔,使得铜箔层的厚度减薄到1000~3000 nm,获得包括铜箔层、纳晶镍层与氧化锆薄膜层的复合层结构;D. 重复步骤A、B和C,获得多张复合层结构;沿同一方向,叠合各张复合层结构,获得包括多层纳晶镍层的膜结构;其中,通过控制铜箔层的减薄厚度,来控制各张复合层结构的热电性能。该制备方法,工艺简单,铜的导电率高,能够获得高的电导率,铜的熔点温度较低,便于多张复合层结构的压合,通过控制铜箔层的减薄厚度,能够实现薄膜型纳晶镍的热电性能的调控。

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