本发明公开了一种真空器件用嵌入式小钛泵，涉及真空钛泵技术，是借用真空器件的外壳和内部电极，或将电极嵌入器件内部，以替代钛泵的电极；外加磁场或利用真空器件的剩磁，从而组成钛泵，钛泵和真空器件融为一体。本发明没有独立的钛泵系统，部分钛泵电极是借用器件固有的电极或嵌入器件内部，降低了重量、结构简单、提高了绝缘和可靠性。该钛泵可以随真空系统永久工作，提高了真空系统的真空度，保证了产品的稳定性和寿命。

 本发明涉及真空钛泵技术，主要是一种真空器件用嵌入式小钛泵。

本发明没有独立的钛泵系统，全部钛泵电极都是借用器件外壳和固有的电极或嵌入器件内部，降低了重量、大小，提高了可靠性。该钛泵可以伴随真空系统永久性工作，能够提高或长期保持真空系统的真空度，保证了产品的稳定性和寿命。

 目前真空钛泵采用常规方法，即中心高压正电极、两边钛板高压负电极，放置在一定磁场中。钛泵工作时，气体分子电离后在强电场和强磁场联合作用下，高速撞击钛板并被埋没，从而达到抽真空的作用。传统钛泵是独立的一个系统，其高压电极、磁钢都是专用的，组成一个矩形或圆盘形的独立结构，有一定的重量和大小，这样给绝缘、结构和可靠性等问题带来极大不便，直接影响稳定性和可靠性。