成果名称：	一种硅烷膜电化学沉积装置	关键字：		应用行业：
高新技术领域：		所在地：		知识产权类型：	实用新型
知识产权编号：	ZL202122247156	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：		成果水平：	国内先进	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：		课题来源：
第一完成单位名称：	河北农业大学	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	技术转让	交易价格(万)：	3.00	所属十强产业：

本实用新型公开了一种硅烷膜电化学沉积装置，包括台架，台架上设置有硅烷液存储槽、电化学沉积槽和过滤装置，过滤装置包括水泵和过滤器，水泵的进口通过三通管件分别与供液管和回液管连通，供液管和回液管上均设置有控制阀门，供液管的进口与硅烷液存储槽连通，回液管的进口与电化学沉积槽连通；水泵的出口通过滤液进管与过滤器的进口连通，过滤器的出口通过滤液出管与电化学沉积槽连通。本实用新型可对电化学沉积的硅烷液进行循环过滤，得到较为纯净的硅烷液，实现了硅烷液可多次利用，节约成本，减少浪费，同时提高了硅烷液的稳定性以及电化学沉积硅烷膜的性能。