本技术提供了一种基于超薄银膜的纳米多层透明导电薄膜及其制备技术，可以解决现有银基多层透明导电薄膜难以同时兼顾良好导电性和高透光率的问题。

适用于银基多层透明导电薄膜制备的卷绕式磁控溅射设备。