本发明涉及光学元件技术。本发明解决了目前光学元件基底的后表面易损伤的问题，提供了一种减缓或消除激光诱导光学元件后表面损伤的光学元件，其技术方案可概括为：一种减缓或消除激光诱导光学元件后表面损伤的光学元件，包括基底、所需薄膜及缓冲层薄膜，其中，缓冲层薄膜位于基底后表面与所需薄膜之间，缓冲层薄膜所采用材料的声阻抗数值与基底材料的声阻抗数值相减后的绝对值不超过基底和材料的声阻抗相加后与应力系数之积，其中应力系数决定与元件的抗张应力阈值和冲击波峰值，数值上等于两者之比。本发明的有益效果是：减缓或消除了光学元件基底的后表面损伤问题，适用于光学元件。