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激光等离子体有效清洗微纳颗粒的脉冲空间间隔选择方法
成果名称: | 激光等离子体有效清洗微纳颗粒的脉冲空间间隔选择方法 | 关键字: | 清洗 , 等离子体 , 等离子 , 基底 , 去除 , 激光 , 滚动 , 区域 , 弹跳 , 离子 | 应用行业: | 制造业 |
高新技术领域: | 先进制造技术 | 所在地: | 四川省 | 知识产权类型: | 发明专利 |
知识产权编号: | CN201811639966.4 | 成果体现形式: | 成果属性: | ||
成果所处阶段: | 授权 | 成果水平: | 国内领先 | 研究形式: | |
学科分类: | 战略新兴产业: | 高端装备制造 | 课题来源: | ||
第一完成单位名称: | 四川大学 | 第一完成单位属性: | 技术成熟度: | ||
合作方式: | 技术转让 | 交易价格(万): | 6.00 | 所属十强产业: |
本发明涉及激光技术。本发明的目的是要进一步提高等离子冲击波式激光清洗方法的去除率,提供一种激光等离子体有效清洗微纳颗粒的脉冲空间间隔选择方法,其技术方案可概括为:欲使用等离子冲击波式激光清洗方法清洗待清洗基底,首先确定单束激光等离子体作用到待清洗基底表面的距离及单束激光的激光能量,然后获取单束激光等离子体作用到待清洗基底表面后的弹跳去除区域及滚动去除区域,最后在扫描清洗待清洗基底时,针对待清洗基底上的任意一个区域都必须采用单束激光等离子体作用到待清洗基底表面后的滚动去除区域覆盖至少一次。本发明的有益效果是:有效提高去除率,适用于等离子冲击波式激光清洗方法清洗待清洗基底。
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韩敬华
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