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一种基于感性峰化实现的高速单行载流子光电探测器
成果名称: | 一种基于感性峰化实现的高速单行载流子光电探测器 | 关键字: | ingaasp , utc , inp , 电场 , 吸收 , 信号线 , 阻抗 , pd , 掺杂 , q1 | 应用行业: | 信息传输软件和信息技术 |
高新技术领域: | 电子信息技术 | 所在地: | 北京市 | 知识产权类型: | 发明专利 |
知识产权编号: | ingaasp , utc , inp , 电场 , 吸收 , 信号线 , 阻抗 , pd , 掺杂 , q1 | 成果体现形式: | 成果属性: | ||
成果所处阶段: | 授权 | 成果水平: | 国内领先 | 研究形式: | |
学科分类: | 战略新兴产业: | 新一代信息技术 | 课题来源: | ||
第一完成单位名称: | 北京邮电大学 | 第一完成单位属性: | 技术成熟度: | ||
合作方式: | 技术转让 | 交易价格(万): | 6.00 | 所属十强产业: |
本发明公开了一种基于感性峰化实现的高速单行载流子光电探测器,属于太赫兹通信领域;具体包括:从上到下依次为P型欧姆接触层,阻挡层,吸收层和收集层;吸收层采用梯度掺杂的方式引入内建电场,吸收层浓度差带来电势差,引入高电场,加速电子通过吸收层;收集层中包括N型掺杂崖层InP和N型轻掺杂的收集层InP;由于崖层InP的存在,增强了异质结界面处的电场强度,提高了吸收层电场的同时降低收集层电场。在吸收层与阻挡层之间添加过渡层用于平滑价带;在吸收层与收集层之间设有N型过渡层InGaAsP平滑导带;在同样的外延结构基础上,分别设计了P台面直径为5μm和3μm的两种UTC‑PD;通过合理的设计UTC‑PD的外延结构,实现高渡越时间带宽,同时采用感性峰化技术补偿有源区面积大带来的高电容特性,能够在不降低响应度的前提下提高器件的3dB带宽和饱和电流,并且器件的3dB带宽达到亚太赫兹水平,可以应用于太赫兹通信系统。
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余建国
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