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一种紫外发光二极管及其制作方法

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成果名称: 一种紫外发光二极管及其制作方法 关键字: gan , 纳米线 , 纳米 , 发光二极管 , 宝石 , 蓝宝石 , 紫外 , 发光 , 二极管 , 衬底 应用行业: 制造业
高新技术领域: 先进制造技术 所在地: 广东省 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: CN201811277372.3 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 授权 成果水平: 国内领先 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 高端装备制造 课题来源:
第一完成单位名称: 广东工业大学 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 技术转让 交易价格(万): 3.00 所属十强产业:

本发明公开了一种紫外发光二极管,包括蓝宝石衬底与GaN缓冲层,所述紫外发光二极管包括GaN纳米线层与GaN纳米线融合层;所述GaN纳米线层设置在所述紫外发光二极管的蓝宝石衬底表面;所述GaN纳米线层包括GaN纳米线,所述GaN纳米线的两端分别连接所述GaN纳米线融合层和所述蓝宝石衬底,实现所述GaN纳米线融合层与所述蓝宝石衬底间的电连接;所述GaN纳米线融合层设置在所述GaN纳米线层与所述紫外发光二极管的GaN缓冲层之间。本发明通过将传统的GaN层替换成GaN纳米线层,减少了GaN材料与衬底的接触面积,同时也就减少了接触面间的缺陷和位错,提升了内量子效率,进而提高了元件效率。本发明同时还提供了一种具有上述有益效果的紫外发光二极管的制作方法。

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