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一种LED芯片、LED外延片及其制备方法
成果名称: | 一种LED芯片、LED外延片及其制备方法 | 关键字: | gan , 外延 , 衬底 , led , 量子 , 成核 , 纳米线 , 金属 , 生长 , ingan | 应用行业: | 制造业 |
高新技术领域: | 先进制造技术 | 所在地: | 广东省 | 知识产权类型: | 发明专利 |
知识产权编号: | CN201811527125.4 | 成果体现形式: | 成果属性: | ||
成果所处阶段: | 授权 | 成果水平: | 国内先进 | 研究形式: | |
学科分类: | 战略新兴产业: | 高端装备制造 | 课题来源: | ||
第一完成单位名称: | 广东工业大学 | 第一完成单位属性: | 技术成熟度: | ||
合作方式: | 技术转让 | 交易价格(万): | 3.00 | 所属十强产业: |
本发明公开了一种LED芯片、LED外延片及其制备方法,其中,LED外延片可以包括金属衬底、设置在金属衬底表面的GaN成核层、设置在GaN成核层表面的N型GaN层、设置在N型GaN层表面的多量子阱层、设置在多量子阱层表面的GaN阻挡层、设置在GaN阻挡层表面的P型GaN层。本申请公开的上述技术方案,直接利用金属衬底作为LED外延片的衬底,由于整个金属衬底都可以导电,因此,则可以对N型GaN层的电流实现扩展,以使电流均匀分布,从而可以提高内量子效率。另外,由于可以直接在金属衬底上设置电极,因此,则可以不再需要通过刻蚀来在N型GaN层上制备电极,从而可以增大LED外延片的有效发光区域。
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何苗
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