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一种LED芯片、LED外延片及其制备方法

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成果名称: 一种LED芯片、LED外延片及其制备方法 关键字: gan , 外延 , 衬底 , led , 量子 , 成核 , 纳米线 , 金属 , 生长 , ingan 应用行业: 制造业
高新技术领域: 先进制造技术 所在地: 广东省 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: CN201811527125.4 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 授权 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 高端装备制造 课题来源:
第一完成单位名称: 广东工业大学 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 技术转让 交易价格(万): 3.00 所属十强产业:

 本发明公开了一种LED芯片、LED外延片及其制备方法,其中,LED外延片可以包括金属衬底、设置在金属衬底表面的GaN成核层、设置在GaN成核层表面的N型GaN层、设置在N型GaN层表面的多量子阱层、设置在多量子阱层表面的GaN阻挡层、设置在GaN阻挡层表面的P型GaN层。本申请公开的上述技术方案,直接利用金属衬底作为LED外延片的衬底,由于整个金属衬底都可以导电,因此,则可以对N型GaN层的电流实现扩展,以使电流均匀分布,从而可以提高内量子效率。另外,由于可以直接在金属衬底上设置电极,因此,则可以不再需要通过刻蚀来在N型GaN层上制备电极,从而可以增大LED外延片的有效发光区域。

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