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薄膜太阳电池用双层氧化锌透明导电薄膜及其制备方法

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成果名称：	薄膜太阳电池用双层氧化锌透明导电薄膜及其制备方法	关键字：	薄膜 , zno , 太阳电池 , 绒面 , 氧化锌 , 电池 , 多晶 , 太阳 , 导电薄膜 , 双层	应用行业：	制造业
高新技术领域：	绿色化工技术	所在地：	天津市	知识产权类型：	发明专利
知识产权编号：	CN201010156218.8	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：	授权	成果水平：	国内先进	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：	高端装备制造	课题来源：
第一完成单位名称：	南开大学	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	技术转让	交易价格(万)：	7.00	所属十强产业：

一种薄膜太阳电池用双层氧化锌透明导电薄膜及其制备方法。该方法利用对沉积薄膜过程中沉积气氛的有效调控，实现同时具有(0001)结晶相的电荷传输层与结晶相的绒面散射层的双层ZnO薄膜结构。首先在衬底上沉积具有(0001)结晶相的ZnO多晶薄膜，随后在其上原位生长具有()结晶相的ZnO多晶薄膜，经过湿法腐蚀工艺处理后得到具有良好电学特性与陷光结构的透明导电氧化锌薄膜材料。本发明所述氧化锌为掺杂半导体，如ZnO:Al、ZnO:Ga、ZnO:B、ZnO:Mo、ZnO:W等n型半导体材料，可应用于非晶硅基、微晶硅基、纳米硅基薄膜的单结及多结太阳电池。