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集成有双吸收区的光电探测器及其制备方法

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成果名称: 集成有双吸收区的光电探测器及其制备方法 关键字: 掺杂 , 吸收 , 光吸收 , 波导 , 探测 , 探测器 , 光传输 , pin , 沉积 , 光电 应用行业: 电气机械和器材制造业
高新技术领域: 电能与电力 所在地: 江苏省 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: CN202111647756.1 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 授权 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 高端装备制造 课题来源:
第一完成单位名称: 淮阴工学院 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 专利许可 交易价格(万): 3.00 所属十强产业:

本发明涉及集成芯片领域,公开了一种集成有双吸收区的光电探测器及其制备方法,包括自下而上设置的基底、第二吸收有源区、光传输波导区和第一吸收有源区;第一吸收有源区中横向依次设置第一P++掺杂区、第一P+掺杂区、第一本征I区、第一N+掺杂区以及第一N++掺杂区,第一P++掺杂区与第一金属电极电性连接;第二吸收有源区中横向依次设置第二P++掺杂区、第二P+掺杂区、第二本征I区、第二N+掺杂区以及第二N++掺杂区,第二P++掺杂区与第二金属电极电性连接;第一与第二N++掺杂区通过金属通孔电性连接。本光电探测器具有两个不同的光吸收区,能够探测出高功率和多波段的光信号,响应度较高,光‑电响应带宽较大。

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