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一种采用激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法

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成果名称: 一种采用激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法 关键字: 位移 , 激光 , 反射镜 , 激光干涉仪 , 干涉 , 干涉仪 , 测量 , 反射 , 精密 , 波长 应用行业: 制造业
高新技术领域: 先进制造技术 所在地: 四川省 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: CN201510852413.7 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 授权 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 高端装备制造 课题来源:
第一完成单位名称: 成都信息工程大学 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 技术转让 交易价格(万): 6.00 所属十强产业:

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪及波长修正方法,所述激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪,包括激光源、固定平面反射镜、光电探测器、测量平面反射镜装置和分光镜,所述测量平面反射镜装置包括测量平面反射镜和精密位移装置,所述精密位移装置为所述测量平面反射镜提供与被测物体位移同向或反向的位移。本申请中,将被测物体实际位移中超出半个激光波长小数部分△L也测量出来补充到位移检测结果中,进而使得本申请的激光干涉仪所测量得到的位移结果更加精确,同时精密位移装置进行若干整数波长精确位移,通过精确的距离反求环境等效激光波长,进一步提高本发明激光干涉仪的测量精度。

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