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一种磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪的标定方法和测量方法

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成果名称: 一种磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪的标定方法和测量方法 关键字: 干涉 , 位移 , 探测器 , 反射 , 光电 , 探测 , 测量 , 激光 , 激光干涉仪 , 反射镜 应用行业: 制造业
高新技术领域: 先进制造技术 所在地: 四川省 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: CN201510372838.8 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 授权 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 高端装备制造 课题来源:
第一完成单位名称: 成都信息工程大学 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 技术转让 交易价格(万): 2.00 所属十强产业:

本发明涉及一种精密测试技术及仪器领域,特别涉及一种磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪及标定方法和测量方法,所述磁性微位移平台式阶梯角反射镜激光干涉仪,包括有激光源、微动阶梯角反射镜、干涉测量光电探测器组、移动角反射镜、分光镜组和磁性微位移平台,所述微动阶梯角反射镜设置在所述磁性微位移平台上,所述激光源向所述分光镜组射出z束激光束,还包括有反射测量光电探测器组,所述第二激光束组在由所述移动角反射镜射向所述分光镜组后还形成有反射激光束组,所述反射激光束组的各激光束分别射向一个所述反射测量光电探测器。本申请的激光干涉仪,根据反射激光束组的强度确定激光干涉光束的干涉状态,实现抗干扰的目的。

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