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一种采用波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法
成果名称: | 一种采用波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪的激光波长修正方法 | 关键字: | 位移 , 激光 , 反射 , 干涉 , 反射镜 , 激光干涉仪 , 探测器 , 测量 , 探测 , 光电 | 应用行业: | 制造业 |
高新技术领域: | 先进制造技术 | 所在地: | 四川省 | 知识产权类型: | 发明专利 |
知识产权编号: | CN201510846645.1 | 成果体现形式: | 成果属性: | ||
成果所处阶段: | 授权 | 成果水平: | 国内先进 | 研究形式: | |
学科分类: | 战略新兴产业: | 高端装备制造 | 课题来源: | ||
第一完成单位名称: | 成都信息工程大学 | 第一完成单位属性: | 技术成熟度: | ||
合作方式: | 技术转让 | 交易价格(万): | 3.00 | 所属十强产业: |
本发明公开了一种波长修正式多光束角阶梯反射镜激光干涉仪及波长修正方法,包括激光源、分光镜、固定阶梯平面角反射镜、测量角反射镜装置、光电探测器组,其中测量角反射镜装置包括测量角反射镜与精密位移装置,激光源包括n,个平行激光束,n≥2,光电探测器组包括n个光电探测器件,固定阶梯平面角反射镜的反射面为n个阶梯平面,相邻两个反射平面间距为(k为自然数);经过分光镜作用后的一束激光射入其中一个反射平面后反射到一个光电探测器,同时分光镜内透射的另一束激光经过测量角反射镜、分光镜反射后也入射至该光电探测器。该激光干涉仪产生的激光干涉现象不仅和激光波长有关,还和阶梯形反射平面高度差值有关,该光电探测器组能够检测到精度达到λ/2n级别的位移,同时采用波长修正方法获得环境等效波长,显著提高了测量精度。
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苏博晖
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