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一种PECVD工艺腔室支管路装置及其所在的气路系统

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成果名称： 一种PECVD工艺腔室支管路装置及其所在的气路系统 关键字： pecvd , 管路 , 进气 , 排气管 , 进气管 , 排气 , 工艺 , 本体 , 容器 , 密封 应用行业： 石油和天然气开采业
高新技术领域： 电子信息技术 所在地： 河北省 知识产权类型： 发明专利
知识产权编号： CN201910487899.7 成果体现形式： 成果属性：
成果所处阶段： 授权 成果水平： 国内先进 研究形式：
学科分类： 战略新兴产业： 新一代信息技术 课题来源：
第一完成单位名称： 承德石油高等专科学校 第一完成单位属性： 技术成熟度：
合作方式： 技术转让 交易价格(万)： 6.00 所属十强产业：

本发明提供了一种PECVD设备工艺腔室支管路装置及其所在的气路系统，包括容器本体10，所述容器本体10的上部设有密封盖12，所述密封盖12的上方开有进气口121，排气口122，所述容器本体10内盛放有液体11，所述进气口121连接进气管20，所述排气口122连接排气口121。

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