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一种T型BiFeO3铁电薄膜材料的制备方法
成果名称: | 一种T型BiFeO3铁电薄膜材料的制备方法 | 关键字: | bifeo3 , bfo , 薄膜 , 5coo3 , lsco , 5sr0 , la0 , 磁控溅射 , 外延 , 电极 | 应用行业: | 制造业 |
高新技术领域: | 先进制造技术 | 所在地: | 河北省 | 知识产权类型: | 发明专利 |
知识产权编号: | CN202111251504.7 | 成果体现形式: | 成果属性: | ||
成果所处阶段: | 授权 | 成果水平: | 国内先进 | 研究形式: | |
学科分类: | 战略新兴产业: | 高端装备制造 | 课题来源: | ||
第一完成单位名称: | 河北农业大学 | 第一完成单位属性: | 技术成熟度: | ||
合作方式: | 技术转让 | 交易价格(万): | 12.00 | 所属十强产业: |
本发明公开了一种T型BiFeO3铁电薄膜材料的制备方法,通过磁控溅射的方法在LaAlO3(001)基底上形成La0.5Sr0.5CoO3薄膜底电极和T型BiFeO3薄膜,即得到T型BiFeO3铁电薄膜材料。该方法能够在底电极/基片上制备出一层T型BiFeO3薄膜,该T‑BiFeO3铁电薄膜具有外延结构,体现出极佳的保持特性和抗疲劳特性,具有广泛的应用前景。
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苏博晖
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