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Li2FexSiO4正极薄膜的制备方法及应用

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成果名称：	Li2FexSiO4正极薄膜的制备方法及应用	关键字：	薄膜 , li2fe0 , li2fesio4 , 正极 , 锂离子 , 9sio4 , 靶材 , 衬底	应用行业：	计算机、通信和其他电子设备制造业
高新技术领域：	电子信息技术	所在地：	河北省	知识产权类型：	发明专利
知识产权编号：	CN202010628630.9	成果体现形式：	发明专利	成果属性：
成果所处阶段：	授权	成果水平：	国内先进	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：	新一代信息技术	课题来源：
第一完成单位名称：	河北大学	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	专利许可	交易价格(万)：	50.00	所属十强产业：

本发明提供了一种Li2FexSiO4正极薄膜的制备方法及应用。其是以Fe补偿的Li2FeSiO4材料作为靶材，采用射频磁控溅射的方法沉积制备Li2FexSiO4薄膜，其中0.5≤x≤1.1；然后以Li2FexSiO4薄膜为正极依次制备固态电解质薄膜、负极薄膜、负极集流体薄膜，封装后得到多层结构的全固态薄膜锂离子电池。该多层膜结构的全固态锂离子具有高结构稳定性和界面特性、较高的放电比容量和循环特性。