本发明公开了一种工业控制系统隐蔽性虚假数据注入攻击方法，包括以下步骤：A、建立含有隐蔽性虚假数据注入攻击的工业控制系统模型；含有噪声的被控对象输出信号输入攻击控制器，攻击控制器的输出信号分别输入被控对象和第一对象模型，第一对象模型的输出信号和第二对象模型的输出信号输入第一除法器，第一除法器的输出信号和攻击控制器的输入信号与第一对象模型的输出信号作差后的信号输入第二除法器；B、利用步骤A建立的工业控制系统模型进行隐蔽性虚假数据注入攻击。本发明能够改进现有技术的不足，对物理过程数学模型的依赖程度小，可以大大提高虚假数据注入攻击的隐蔽性。