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一种高硬度、高耐磨性的Zr-B-N/ZrO2纳米多层复合涂层及其制备方法

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成果简介
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成果名称：	一种高硬度、高耐磨性的Zr-B-N/ZrO2纳米多层复合涂层及其制备方法	关键字：	zr , zro2 , 涂层 , 纳米 , 调制 , 复合 , zrb2 , 偏压 , 形貌 , 硬度	应用行业：	制造业
高新技术领域：	先进制造技术	所在地：	天津市	知识产权类型：	发明专利
知识产权编号：	CN202110911632.3	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：	授权	成果水平：	国内一般	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：	高端装备制造	课题来源：
第一完成单位名称：	天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	专利许可	交易价格(万)：	0.20	所属十强产业：

本发明公开了一种高硬度、高耐磨性的Zr‑B‑N/ZrO2纳米多层复合涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。该纳米多层复合涂层是由Zr‑B‑N调制层和ZrO2调制层交替叠加而成，涂层调制周期为65‑110nm，周期数≥8；所述Zr‑B‑N调制层和ZrO2调制层的调制比为1：1～9：1。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。