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具有高硬度与高温抗氧化性的Zr-B-N/ZrO2纳米多层复合涂层的制备工艺

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成果名称：	具有高硬度与高温抗氧化性的Zr-B-N/ZrO2纳米多层复合涂层的制备工艺	关键字：	zr , zro2 , 涂层 , 纳米 , 调制 , 复合 , zrb2 , 偏压 , 形貌 , 硬度	应用行业：	制造业
高新技术领域：	先进制造技术	所在地：	天津市	知识产权类型：	发明专利
知识产权编号：	CN202110911776.9	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：	授权	成果水平：	国内先进	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：	请选择...	课题来源：
第一完成单位名称：	天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	专利许可	交易价格(万)：	0.20	所属十强产业：

本发明公开了一种具有高硬度与高温抗氧化性的Zr‑B‑N/ZrO2纳米多层复合涂层的制备工艺，属于涂层技术领域。该工艺是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积纳米多层复合涂层，沉积纳米多层复合涂层时：本底真空为5×10‑3Pa，沉积压强0.5～0.8Pa；制备Zr‑B‑N调制层时，Zr靶功率0.4～2.0kw，ZrB2靶功率0.4～1.6kw，偏压为150V，通入Ar以及N2/H2混合气体；制备ZrO2调制层时，开启Zr靶，Zr靶功率0.4～2.0kw，通入Ar和O2；本发明通过工艺设计及优化调制周期和调制比，制备出兼具高硬度、高耐磨性及高耐热能力的涂层。