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一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法

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成果名称：	一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法	关键字：	alcrsin , mo , 薄膜 , crmo , crn , 摩擦 , 润滑 , 沉积 , 压强 , 形貌	应用行业：	制造业
高新技术领域：	先进制造技术	所在地：	天津市	知识产权类型：	发明专利
知识产权编号：	CN202010999545.3	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：	授权	成果水平：	国内领先	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：	高端装备制造	课题来源：
第一完成单位名称：	天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	专利许可	交易价格(万)：	0.20	所属十强产业：

本发明公开了一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法，属于薄膜及其制备技术领域。所述AlCrSiN/Mo自润滑薄膜是将Mo元素掺杂进AlCrSiN薄膜中制备而成，Mo元素的掺杂量为0.3～6.3at.％，该薄膜采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上制备而成。所制备的AlCrSiN/Mo自润滑薄膜硬度高、韧性好，具备优良的减摩特性，可以显著降低刀‑屑间的摩擦，具有较好的化学稳定性及易剪切的润滑特性。