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一种背接触电池的制备方法及背接触电池

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成果名称: 一种背接触电池的制备方法及背接触电池 关键字: 非晶硅 , 掺杂 , 晶硅 , 硅片 , 背光 , 电池 , 原位 , 接触 , 氧化 , 光面 应用行业: 制造业
高新技术领域: 先进制造技术 所在地: 河北省 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: CN202210737855.7 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 授权 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 高端装备制造 课题来源:
第一完成单位名称: 英利能源发展有限公司 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 技术转让 交易价格(万): 7.00 所属十强产业:

本发明提供了一种背接触电池的制备方法及背接触电池,属于蓄电池技术领域,该方法包括:在N型硅片的背光面制备第一隧穿氧化硅层、硼原位掺杂非晶硅层和硼硅玻璃层,通过激光刻蚀去除多余的第一隧穿氧化硅层、硼原位掺杂非晶硅层和掺硼硅玻璃层,从而在N型硅片的背光面形成多个间隔设置的掺硼非晶硅层;在相邻的掺硼非晶硅层之间制备掺磷非晶硅层,在掺硼非晶硅层和掺磷非晶硅层之间形成硼磷共掺杂层;通过化学清洗的方式,在N型硅片的背光面形成呈梳状交叉分布的磷掺杂区和硼掺杂区,磷掺杂区和硼掺杂区之间形成绝缘区。本发明提供的一种背接触电池的制备方法及背接触电池,大大简化了背接触电池背场和背发射极制备工艺步骤,降低电池成本。

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