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一种还原性气氛中Zr-Ti-B-N纳米复合涂层的制备工艺

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成果名称: 一种还原性气氛中Zr-Ti-B-N纳米复合涂层的制备工艺 关键字: 涂层 , zr , ti , 沉积 , 磁控溅射 , 脉冲 , h2 , n2 , 晶面 , 气体 应用行业: 制造业
高新技术领域: 新材料及其应用 所在地: 天津市 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: CN202010485269.9 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 授权 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 新材料 课题来源:
第一完成单位名称: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 专利许可 交易价格(万): 0.20 所属十强产业:

本发明公开了一种还原性气氛中Zr‑Ti‑B‑N纳米复合涂层的制备工艺,属于涂层制备技术领域。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在基体上沉积Zr‑Ti‑B‑N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力,镀膜前先通入Ar气,利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗,然后通入N2+H2的混合气体,沉积CrN过渡层。之后关闭Cr靶,依次将TiB2靶和ZrB2靶连接到高功率脉冲磁控溅射阴极和脉冲直流磁控溅射阴极,并在Ar、N2和H2的混合气氛中起辉,开始沉积Zr‑Ti‑B‑N涂层。本发明制备的纳米复合涂层具有较高的硬度和弹性模量,良好的耐磨性能,且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。

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