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一种还原性气氛中Zr-Ti-B-N纳米复合涂层的制备工艺
成果名称: | 一种还原性气氛中Zr-Ti-B-N纳米复合涂层的制备工艺 | 关键字: | 涂层 , zr , ti , 沉积 , 磁控溅射 , 脉冲 , h2 , n2 , 晶面 , 气体 | 应用行业: | 制造业 |
高新技术领域: | 新材料及其应用 | 所在地: | 天津市 | 知识产权类型: | 发明专利 |
知识产权编号: | CN202010485269.9 | 成果体现形式: | 成果属性: | ||
成果所处阶段: | 授权 | 成果水平: | 国内先进 | 研究形式: | |
学科分类: | 战略新兴产业: | 新材料 | 课题来源: | ||
第一完成单位名称: | 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) | 第一完成单位属性: | 技术成熟度: | ||
合作方式: | 专利许可 | 交易价格(万): | 0.20 | 所属十强产业: |
本发明公开了一种还原性气氛中Zr‑Ti‑B‑N纳米复合涂层的制备工艺,属于涂层制备技术领域。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在基体上沉积Zr‑Ti‑B‑N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力,镀膜前先通入Ar气,利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗,然后通入N2+H2的混合气体,沉积CrN过渡层。之后关闭Cr靶,依次将TiB2靶和ZrB2靶连接到高功率脉冲磁控溅射阴极和脉冲直流磁控溅射阴极,并在Ar、N2和H2的混合气氛中起辉,开始沉积Zr‑Ti‑B‑N涂层。本发明制备的纳米复合涂层具有较高的硬度和弹性模量,良好的耐磨性能,且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
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苏博晖
15614431192
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