本发明公开了一种AlCrTiSiN/AlCrTiSiON多层复合涂层及其制备工艺，属于复合涂层制备技术领域。所述AlCrTiSiN/AlCrTiSiON多层复合涂层是由单层AlCrTiSiN及AlCrTiSiON叠加而成。该复合涂层采用电弧离子镀膜技术制备，具体制备时，靶材选取金属Cr靶、AlCrSi靶、AlTiSi靶，辉光放电清洗和离子轰击清洗后先沉积CrN过渡层，最后通入相应的反应气体，分别制备工作层和表面防护涂层。本发明涉及的多层复合涂层制备工艺简单，并且容易工业化生产。制备出的涂层具有良好的耐热性能，适用于高速切削，提高加工效率。