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兼具高硬度和高韧性Zr-B-N纳米复合涂层及其制备方法

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成果名称：	兼具高硬度和高韧性Zr-B-N纳米复合涂层及其制备方法	关键字：	涂层 , zr , zrb2 , 沉积 , n2 , h2 , 纳米 , 韧性 , 硬度 , 复合	应用行业：	制造业
高新技术领域：	新材料及其应用	所在地：	天津市	知识产权类型：	发明专利
知识产权编号：	CN202010541310.X	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：	授权	成果水平：	国内先进	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：	新材料	课题来源：
第一完成单位名称：	天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	专利许可	交易价格(万)：	0.20	所属十强产业：

本发明公开了一种兼具高硬度和高韧性Zr-B-N纳米复合涂层及其制备方法，属于纳米复合涂层制备技术领域。所述Zr-B-N纳米复合涂层包括非晶BN相和ZrB2晶相，其中ZrB2相沿(001)晶面择优生长。采用脉冲直流磁控溅射技术在金属或合金基体上沉积Zr-B-N纳米复合涂层。为提高涂层与基体的结合力，镀膜前先通入Ar气，利用电弧离子镀Cr靶对基体表面进行离子轰击清洗，然后通入N2和H2的混合气体，沉积CrN过渡层。之后关闭Cr靶电源，将ZrB2靶连接到脉冲直流磁控溅射阴极，并在Ar、N2和H2的混合气氛中沉积Zr-B-N涂层。本发明涉及的Zr-B-N纳米复合涂层制备重复性好，并且容易工业化生产；制备出的Zr-B-N涂层具有较高的硬度和弹性模量，良好的耐磨性能，且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。