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高Cr含量CrB2-Cr涂层的制备工艺

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成果名称: 高Cr含量CrB2-Cr涂层的制备工艺 关键字: crb2 , cr , 涂层 , 磁控溅射 , 脉冲 , 高功率 , 沉积 , 功率 , 直流 , 复合 应用行业: 制造业
高新技术领域: 新材料及其应用 所在地: 天津市 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: CN202011474101.4 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 授权 成果水平: 国内领先 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 高端装备制造 课题来源:
第一完成单位名称: 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 专利许可 交易价格(万): 0.20 所属十强产业:

本发明公开了一种高Cr含量CrB2‑Cr涂层的制备工艺,属于涂层制备技术领域。采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在金属或硬质合金基体上制备CrB2‑Cr纳米复合涂层。为了更好的控制涂层中Cr元素的含量,靶材同时选用CrB2靶和两个金属Cr靶,对基材表面分别进行辉光放电清洗和离子轰击清洗后沉积金属Cr过渡层,最后同时开启Cr靶和CrB2靶,沉积CrB2‑Cr涂层,镀膜过程始终在氩气气氛内进行。本发明工艺简单,重复性好;制备出的CrB2‑Cr涂层中Cr元素含量显著增加,涂层具有较高的硬度和熔点、优异的高温热稳定性以及耐腐蚀性能,其韧性也得到了一定改善,而且涂层组织结构致密,与基体间的结合力强。

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