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一种刻度可调的非接触式高精度长度测量系统

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成果名称: 一种刻度可调的非接触式高精度长度测量系统 关键字: 干涉条纹 , 条纹 , 干涉 , 测量 , 光线 , 光学 , 分光镜 , 工件 , 投射 , 凸透镜 应用行业: 制造业
高新技术领域: 电子信息技术 所在地: 江苏省 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: CN201810062527.5 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 授权 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 高端装备制造 课题来源:
第一完成单位名称: 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 技术转让 交易价格(万): 2.00 所属十强产业:

一种刻度可调的非接触式高精度长度测量系统,涉及光学精密测量领域。包括:光学测量投射模块,用于在被测量件表面形成明暗干涉条纹作为光学测量尺刻度;光学投射标识模块,用于在被测量件表面形成光谱标识作为光学测量尺刻度的标识;数据采集分析模块,用于采集被测量件、以及被测量件表面的干涉条纹、光谱标识的图像信息,并根据图像信息计算拟合出被测量件的尺寸。本发明利用激光干涉原理构建了一个无需与被测量件接触的条件下,可以几近实时精准地测量出工件尺寸的高精度光学测量尺的方案,并且几乎不会干扰工件的加工过程,这样就可以显著地提高生产效率。

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