本发明所述的阳极氧化零件表面的清洗方法，主要包括使用有机溶剂、碱性溶液、稀释的酸性溶液、氧化剂氟化酮和超声清洗的方法去除腔室阳极氧化处理表面的复杂污染物，可分别去除油污、金属、金属盐、含F的复杂副产物；此清洗方法是一种无损伤、快速有效的清洗阳极氧化表面的有效方法，如果有损伤也是极为微量的采用本专利的清洗方法对多晶刻蚀机腔室的阳极氧化表面进行清洗，可达到无损伤、简便有效去除表面的复杂污染物，并使腔室恢复到正常的状态，符合生产工艺要求，本专利也可用于带有阳极氧化表面的零部件的清洗。