本发明所述的一种石英材料零件的清洗方法主要包括用有机溶剂擦拭、用H2O2浸泡、在溶有过硫酸铵和非离子表面活性剂如聚乙二醇或甲氧基聚乙二醇等的溶液清洗，采用菜瓜布擦拭、再用超纯水超声清洗。且在以上清洗流程中，非超纯水清洗的步骤中都需要超纯水冲洗。是一种无损伤、快速有效的刻蚀机中石英部件表面的清洗方法。可以实现对石英材料零件的表面进行清洗，且该方法操作简便，对零件的表面损伤小或零损伤。