本实用新型提供了一种微波真空干燥装置,属于样品干燥技术领域。所提供的装置用于小量生物或化学样品快速干燥，其包括微波干燥、冷却、真空控制三个单元。微波干燥单元紧连冷却单元，冷却单元又紧连真空控制单元，装置密封后可以提供5kPa的真空度。使用所提供的装置干燥样品能有效缩短样品干燥所需要的时间，降低样品干燥的温度，保证生物样品活性。装置具有结构简单、操作方便及干燥效率高的特点。