本发明提供一种光学三角位移测头的光路系统，包括聚焦光路系统和成像光路系统，其中，光源发出的光束通过聚焦光束系统照射在待测物体表面上，通过漫反射或者散射，该光束通过成像光学系统在检测器上成像，并且所述成像光路系统在聚焦平面上成放大的像。