公开了一种物理参数估计方法、物理参数估计装置和电子设备，该方法包括：读取对一被测件执行干涉测量所得到的牛顿环条纹图；获取牛顿环条纹图的第一方向信号个数和第一方向信号长度；针对每个第一方向信号，基于第一方向信号长度范围内的每个第一调频率参数，对第一方向信号进行离散线性调频傅里叶变换(DCFT)，以获得强度分布信号在DCFT域中的第一幅度谱；基于第一幅度谱确定第一幅度峰值所对应的第一调频率参数和第一频率参数；以及至少根据第一幅度峰值对应的第一调频率参数和第一频率参数来估计干涉测量中涉及的物理参数。这样，可以以高精度稳定地估计干涉测量中涉及的物理参数。