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雾霾颗粒物探测芯片及其制造方法

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成果名称: 雾霾颗粒物探测芯片及其制造方法 关键字: 颗粒物 , 梳妆 , cdse , 雾霭 , 探测 , 薄膜 , 颗粒 , 激光 , 芯片 , 纳米 应用行业: 生态保护和环境治理业
高新技术领域: 先进制造技术 所在地: 北京市 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: CN201410167848.3 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 授权 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 高端装备制造 课题来源:
第一完成单位名称: 首都师范大学 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 专利许可 交易价格(万): 1.00 所属十强产业:

本发明提供一种雾霾颗粒物探测芯片及其制造方法,该芯片包括层状结构,从最底层到最上层依次为:玻璃基底、CdSe薄膜、贵金属纳米点阵列、银对梳妆电极系统、氧化铝薄膜和增透膜。采用本发明提供的雾霾颗粒物探测芯片,通过银对梳妆电极系统可以实现在保证较小的感光区域宽度的同时尽量增大感光面积,较小的感光区域宽度可以降低芯片的响应时间,并通过贵金属纳米点阵列放大光信号,从而提高芯片的检测灵敏度。

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