本申请提供一种纳米探针的制备方法，包括：步骤（1），对硅基或者碳化硅基探针进行表面清洁处理，并在除针尖之外的部分设置遮挡；步骤（2），在所述硅基或者碳化硅基探针表面通过真空蒸发镀膜技术蒸镀或者通过磁控溅射技术溅射纳米粒度的贵金属薄膜、贵金属合金薄膜或者贵金属叠层，并去除所述遮挡；步骤（3），在针尖上增强拉曼光谱TERS设备上应用制得的纳米探针进行TERS实验，根据实验结果统计所述纳米探针的增强性质与制备工艺参数的对应关系；步骤（4），根据所述对应关系调整所述制备工艺参数，重复步骤（1）-（4），直到得到满足预设增强条件的纳米探针。