本发明提供了一种基于预刻写的FBG波长精确刻写方法，该方法采用的具体结构装置包括：准分子脉冲紫外光源、光束整形光路、光栅相位掩膜板、光纤定位系统和光纤刻写在线监测系统，所述的光纤定位系统包括光纤夹具，三维调整架和预紧力施加装置。本发明中使用预刻写的方法，实现对指定波长所需的预紧力大小的精确施加，减小了刻写FBG的Bragg反射波长的不确定度。