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一种车用半导体非易失性存储器结构

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成果名称: 一种车用半导体非易失性存储器结构 关键字: 半导体 , 导体 , 衬底 , 绝缘层 , 改善 , 缺陷 , 存储器 , 绝缘 , 存储 , 电荷 应用行业: 汽车制造业
高新技术领域: 先进制造技术 所在地: 北京市 知识产权类型: 实用新型专利
知识产权编号: CN202023327205.0 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 授权 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 新能源汽车 课题来源:
第一完成单位名称: 北京国家新能源汽车技术创新中心有限公司 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 专利许可 交易价格(万): 1.00 所属十强产业:

本实用新型公开了一种车用半导体非易失性存储器结构,包括:半导体衬底,所述半导体衬底上形成有间隔设置的源区和漏区,所述源区和所述漏区之间为沟道区;绝缘层,覆盖所述沟道区,并至少覆盖靠近所述沟道区的所述源区和漏区的边缘;浮栅,设置于所述绝缘层中,位于所述沟道区上方;控制栅,设置于所述绝缘层中,位于所浮栅上方,所述控制栅和所述浮栅相互隔离;缺陷改善层,设置于所述绝缘层中,位于所述浮栅的下方或上方或所述浮栅的上下两侧。本实用新型通过在浮栅的下方或上方或所述浮栅的上下两侧形成缺陷改善层,以改善由于绝缘层的缺陷引起的数据保持特性的劣化问题。

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