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一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法

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成果名称： 一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法 关键字： ws2 , dlc , wsx , 薄膜 , 纳米 , 沉积 , 磁控溅射 , 单晶硅片 , 石墨 , 润滑 应用行业： 制造业
高新技术领域： 轻工、食品技术 所在地： 浙江省 知识产权类型： 发明专利
知识产权编号： CN201710423541.9 成果体现形式： 成果属性：
成果所处阶段： 成果水平： 国内领先 研究形式：
学科分类： 战略新兴产业： 高端装备制造 课题来源：
第一完成单位名称： 浙江工业大学 第一完成单位属性： 技术成熟度：
合作方式： 请选择... 交易价格(万)： 7.00 所属十强产业：

本发明公开了一种纳米多层结构WSx/DLC润滑膜及制备方法，制备方法主要包括：(1)对基体进行前处理，使其表面清洁、光滑；(2)在多靶磁控溅射沉积系统中安装WS2靶、石墨靶和前处理后的基体，并将沉积室气压抽至1.5×10‑3Pa以下，调整靶基距和基体直流负偏压，通入高纯氩气并获得稳定气压；(3)加热基体到一定温度，然后以WS2靶和石墨靶为溅射靶材，在基体表面交替沉积WSx膜和DLC膜，通过沉积时间控制多层膜的调制周期、DLC膜厚和薄膜厚度等参数，从而获得特定结构特征的WSx/DLC纳米多层膜。本发明方法工艺简单、经济性好，制得的纳米多层膜硬度高(>9.5GPa)、结合力好(>36N)、内应力小(

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