本发明涉及废气技术领域，且公开了一种工业废气净化用光氧废气处理设备，包括柜体，所述柜体的两端分别设有进口腔和出口腔，所述柜体的内腔中设置有靠近进口腔的分子过滤板，所述柜体的内腔中设置有靠近出口腔的光触媒支架，所述进口腔和出口腔均与柜体同轴开设。本发明通过在进口腔和出口腔处设置前端反应管和后端反应管，将柜体内经过分子过滤板过滤的废气输送至前端反应管和后端反应管中，利用前端反应管和后端反应管处低温环境提高臭氧的合成和存储，并将合成后的臭氧输送至氧化反应空间，从而达到提高氧化反应空间臭氧浓度的目的，增加有机物分子与臭氧结合的几率，促进氧化反应的进行，提高对废气的处理效果。