成果名称：	磁控溅射夹持式旋转样品台	关键字：		应用行业：
高新技术领域：		所在地：		知识产权类型：	实用新型
知识产权编号：	ZL202121530688	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：		成果水平：	国内领先	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：		课题来源：
第一完成单位名称：	河北大学	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	专利转让	交易价格(万)：	5.00	所属十强产业：

本实用新型提供了一种磁控溅射夹持式旋转样品台，包括有支撑杆，竖向设置；双向棘轮机构，设置在所述支撑杆上方，用于调节纵向角度；连接杆，设置在所述双向棘轮机构上，用于在所述双向棘轮机构的带动下进行纵向角度的调节；旋转电机，设置在所述连接杆下方，用于在镀膜过程对样品台进行旋转；样品台，设置在所述电机底部，用于固定目标基片；以及固定架，可上下调节地设置在所述样品台下方的所述支撑杆上，用于调节靶基距。本实用新型通过双向棘轮机构和连接杆，来实现样品台的纵向角度的调节，通过旋转电机来实现镀膜过程中样品台的旋转，从而保证薄膜的均匀性。通过调节固定架在支撑杆上的位置来实现靶基距的调节。