成果名称：	用于辉光溅射源的复合可拆卸阳极筒及阴极盘结构	关键字：		应用行业：
高新技术领域：		所在地：		知识产权类型：	实用新型
知识产权编号：	ZL202221801712	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：		成果水平：	国内领先	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：		课题来源：
第一完成单位名称：	河北大学	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	专利转让	交易价格(万)：	15.00	所属十强产业：

本实用新型涉及一种用于辉光溅射源的复合可拆卸阳极筒及阴极盘结构，包括可拆卸阳极筒和可拆卸阴极盘；可拆卸阳极筒包括阳极基底，在阳极基底的一端中心设有阳极圆台，在阳极基底的中心开有贯穿阳极基底以及阳极圆台的通孔，在阳极圆台中心的通孔处可拆卸连接有溅射筒；可拆卸阴极盘包括基座，在基座的中心一端开有安装孔，另一端开有连接孔，安装孔与连接孔相连通，在安装孔内可拆卸安装有阴极圆片，在阴极圆片的中心开有中心圆孔；阳极圆台位于连接孔内，溅射筒外壁与中心圆孔内壁密封接触。本实用新型的阳极筒和阴极盘都为可拆卸结构，其创新之处在于解决了传统辉光溅射源中固定尺寸阳极筒溅射面积小、损坏后不易更换的问题。