本实用新型提供了一种薄膜制备系统一体化加热装置。其结构包括导电滑环、密封模块、套筒、动力模块、加热模块和升降模块等。本实用新型将原有的双套筒加热模式（即加热丝所在中心套筒及与炉盘连接的外套筒）改为单套筒模式（加热丝与炉盘固定为一体并与中心套筒相连），不仅简化了制造工艺，更提高了系统的稳定性。单套筒模式相比双套筒模式密封性更好；加热丝与炉盘固定为一体，不仅消除了由于转动可能造成的加热导线纠缠进而造成短路或断路的现象，而且加热丝不会发生相对位移，加热更稳定，热量分布更均匀。本实用新型提供的一体化加热装置，很好地解决了传统加热模块容易出现的问题，进一步提升了对于温度稳定的控制和热量分布均一的要求。