成果名称：	一种用于制备薄膜的全自动脉冲喷涂装置	关键字：		应用行业：
高新技术领域：		所在地：		知识产权类型：	实用新型
知识产权编号：	ZL201620729964	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：		成果水平：	国内先进	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：		课题来源：
第一完成单位名称：	河北大学	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	专利许可	交易价格(万)：	10.00	所属十强产业：

本实用新型提供了一种用于制备薄膜的全自动脉冲喷涂装置。该装置包括喷枪、气泵、控制器、容器和加热板。喷枪竖直放置，其上部为枪身，下端为喷嘴；气泵通过导气管与喷枪的枪身相连接，用于向喷枪枪身内提供高压工作气体；在导气管上设有气阀开关；控制器用于控制气阀开关的闭合和断开，从而控制气泵向喷枪枪身内提供高压工作气体；容器用于盛放前驱液；加热板用于对其上的基底进行加热；在高压工作气体的作用下，容器内的前驱液可通过导液管进入喷枪的枪身内并雾化，最终由喷嘴喷出喷涂在高温基底上。本实用新型只需将各参数设置好，就可自动运行，自行停止，方便高效易操作，且可制备大面积的、厚度可控、均匀致密的薄膜。