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一种纳米多层透明导电薄膜

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成果名称: 一种纳米多层透明导电薄膜 关键字: 应用行业:
高新技术领域: 所在地: 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: ZL201610326065 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 课题来源:
第一完成单位名称: 河北大学 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 专利许可 交易价格(万): 12.00 所属十强产业:
本发明提供了一种纳米多层透明导电薄膜。该纳米多层透明导电薄膜是在基底上沉积有至少一个双层,该双层包括一弱氧化铜(CuOx)层和在CuOx层上的与其接触的、连续的超薄银层。CuOx层中氧与铜原子百分比x为0<x≤20%;CuOx层厚度为0.5 nm~3 nm,银层厚度为2 nm~10 nm。与传统透明导电薄膜相比,该纳米多层结构透明导电薄膜具有高的光透过率、低的电阻率和表面粗糙度,用作太阳能电池、触摸屏等光电器件的透明电极可改善其性能,而且本发明中纳米多层透明导电薄膜制备时所需温度低,在室温下即可利用真空镀膜技术实现其高质量制备,便于利用卷绕式薄膜制备技术实现大面积低成本生产。
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