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基于聚合物薄膜石英音叉的气体检测系统及方法

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成果名称: 基于聚合物薄膜石英音叉的气体检测系统及方法 关键字: 应用行业:
高新技术领域: 所在地: 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: ZL202110318284 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 成果水平: 国内领先 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 课题来源:
第一完成单位名称: 河北大学 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 专利转让 交易价格(万): 19.00 所属十强产业:
本发明提供了一种基于聚合物薄膜石英音叉的气体检测系统及方法,所述检测系统包括赫里奥特气体池、分布式反馈激光器、涂覆有聚合物薄膜的石英音叉探测装置以及信号采集处理系统。本发明基于光热光谱技术,使用石英音叉作为传感器,通过激光束照射在音叉臂表面产生的热弹性形变引起石英音叉的机械振动,根据石英音叉的压电效应将机械振动转化为电信号进行采集并处理。本发明将高分子聚合物涂覆于石英音叉臂表面制成薄膜,以增大普通音叉表面的热膨胀系数,增强气体检测的灵敏度、信噪比(SNR)及最小检出限等参数。
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