成果名称：	一种锆钛酸铅/氧化镍铁电超晶格薄膜材料及其制备方法	关键字：		应用行业：
高新技术领域：		所在地：		知识产权类型：	发明专利
知识产权编号：	ZL201910170201	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：		成果水平：	国内领先	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：		课题来源：
第一完成单位名称：	河北大学	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	专利转让	交易价格(万)：	3.00	所属十强产业：

本发明提供了一种锆钛酸铅/氧化镍铁电超晶格薄膜材料及其制备方法，所述铁电超晶格薄膜材料包括锆钛酸铅薄膜和氧化镍薄膜，所述锆钛酸铅薄膜与氧化镍薄膜逐层交替外延生长，锆钛酸铅层的单层厚度为10 u.c.，氧化镍层的单层厚度为1~10 u.c.。铁电超晶格薄膜材料的总厚度为80~160 nm。所述锆钛酸铅/氧化镍铁电超晶格薄膜材料是采用脉冲激光沉积技术制得的。本发明铁电超晶格材料的制备工艺简单，所得锆钛酸铅/氧化镍铁电超晶格薄膜材料兼具优良的铁电性能和介电性能，有效提高了铁电超晶格薄膜材料的综合性能，且生产成本低，在铁电集成微电子器件领域应用前景广阔。