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一种用于制备薄膜的全自动脉冲喷涂装置及喷涂方法
成果名称: | 一种用于制备薄膜的全自动脉冲喷涂装置及喷涂方法 | 关键字: | 应用行业: | 制造业 | |
高新技术领域: | 先进制造技术 | 所在地: | 河北省 | 知识产权类型: | 发明专利 |
知识产权编号: | ZL201610545198 | 成果体现形式: | 成果属性: | ||
成果所处阶段: | 授权 | 成果水平: | 国内先进 | 研究形式: | |
学科分类: | 战略新兴产业: | 高端装备制造 | 课题来源: | ||
第一完成单位名称: | 河北大学 | 第一完成单位属性: | 技术成熟度: | ||
合作方式: | 技术转让 | 交易价格(万): | 4.00 | 所属十强产业: |
本发明提供了一种用于制备薄膜的全自动脉冲喷涂装置及喷涂方法。该装置包括喷枪、气泵、控制器、容器和加热板。喷枪竖直放置,其上部为枪身,下端为喷嘴;气泵通过导气管与喷枪的枪身相连接,用于向喷枪枪身内提供高压工作气体;在导气管上设有气阀开关;控制器用于控制气阀开关的闭合和断开,从而控制气泵向喷枪枪身内提供高压工作气体;容器用于盛放前驱液;加热板用于对其上的基底进行加热;在高压工作气体的作用下,容器内的前驱液可通过导液管进入喷枪的枪身内并雾化,最终由喷嘴喷出喷涂在高温基底上。本发明只需将各参数设置好,就可自动运行,自行停止,方便高效易操作,且可制备大面积的、厚度可控、均匀致密的薄膜。
联系方式
王先生
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河北省保定市
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