成果名称：	一种纳米结构超导复合薄膜及其制备方法	关键字：		应用行业：
高新技术领域：		所在地：		知识产权类型：	发明专利
知识产权编号：	ZL201610114487	成果体现形式：		成果属性：
成果所处阶段：		成果水平：	国内领先	研究形式：
学科分类：		战略新兴产业：		课题来源：
第一完成单位名称：	河北大学	第一完成单位属性：		技术成熟度：
合作方式：	专利转让	交易价格(万)：	5.00	所属十强产业：

本发明提供了一种纳米结构超导复合薄膜及其制备方法。本发明所提供的纳米结构超导复合薄膜是通过磁控与脉冲激光共沉积工艺将超导材料与非超导纳米材料共同沉积在基片上而形成；所述基片为SrTiO3、LaAlO3、MgO或柔性金属基带等；所述超导材料为REBa2Cu3O7?x（RE=Y、Gd、Nd、Sm等稀土元素）或(LaSr)2CuO4等，所述非超导纳米材料为MgO、CeO2、Y2O3、BaZrO3和BaSnO3中的至少一种。本发明通过磁控和脉冲激光共溅射方法，在薄膜生长过程中实时调节磁控和激光溅射参数来实现对引入缺陷分布情况的控制，最终实现对超导复合薄膜微结构及超导性能调控的目的。