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一种超薄晶体硅双面太阳能电池的制备方法

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成果名称: 一种超薄晶体硅双面太阳能电池的制备方法 关键字: 应用行业:
高新技术领域: 所在地: 知识产权类型: 发明专利
知识产权编号: ZL201910048730 成果体现形式: 成果属性:
成果所处阶段: 成果水平: 国内先进 研究形式:
学科分类: 战略新兴产业: 课题来源:
第一完成单位名称: 河北大学 第一完成单位属性: 技术成熟度:
合作方式: 专利许可 交易价格(万): 12.00 所属十强产业:
本发明提供了一种超薄晶体硅双面太阳能电池的制备方法。本发明首先采用HF、H2O2和添加剂的混合溶液使多晶硅基片在18~25℃下经2000~2300s减薄至90‑120μm,减薄过程中在基片表面形成了绒面结构;后采用辊式扩散制备PN结,并采用超声雾化磷酸的方法,无毒无污染,且扩散结均匀;接着在基片正反面均设置氮化硅减反层;最后通过丝网印刷烧结工艺在正反面均形成插指状电极。本发明适合90‑120μm厚多晶硅生产技术路线,相比传统的180μm厚的多晶硅电池,可在保证碎片率的前提下减小电池厚度,还能保证电池效率,工艺简单,成本低;而且本发明还解决了薄电池弯曲易碎的问题,经实验验证完全可以实现产业化。
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